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发布日期：2022-11-28 00:00 浏览量：372
近年来，随着中国半导体产业的快速发展，电子特气作为半导体制造的“血液”，在半导体、微电子及太阳能电池等高科技产业中被广泛应用。它们在薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化和清洗等工艺中，扮演着至关重要的角色。
随着半导体和微电子技术向更高性能与更高集成度的发展，对电子特气的纯度和流体控制设备的洁净度、稳定性、安全性提出了更高的要求。
VIGOUR专注于流体压力控制系统、集中供气系统、气体监控系统及仪器仪表的研发与制造。我们整合气体减压阀、压力控制面板、气体终端模块、扩展模板及配套管阀配件，构建统一、高效的流体控制系统。
在半导体与光伏制造的关键工艺中，如刻蚀、扩散、离子注入、薄膜沉积及黄光，我们为客户提供完整的气体压力控制解决方案及定制服务。应用领域包括硅片生产、太阳能电池涂层、液晶面板制造、微电子交换机蚀刻、硬盘驱动器制造、玻璃纤维涂层及聚硅制造等。
VIGOUR帮助企业提高半导体产量和质量，降低生命周期成本，并保持安全的流体系统运营。
