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发布日期：2025-05-22 00:00 浏览量：267
2025年5月20日，全球半导体行业盛会SEMICON Asia 2025在新加坡滨海湾金沙会展中心盛大开幕。上海皓固机械工业有限公司（简称“VIGOUR”）作为智慧流体控制系统领域的领军企业之一，携其全系列半导体行业解决方案参展，聚焦气体压力控制、高洁净流体设备元件及工艺优化技术，向全球展示中国企业在半导体核心设备领域的创新实力与市场认可。
▌技术优势
高精度与洁净技术赋能半导体制造
VIGOUR依托十余年的技术积累，以“流体控制技术”为核心，为半导体制造提供关键的气体减压阀门、管阀配件、集中供气系统及气体监控解决方案。其产品通过欧盟CE、ISO9001等多项国际认证，并在洁净度与精度上符合半导体级别的标准。
▌覆盖半导体全产业链痛点
精准控制：通过自主研发的流体压力调节技术，确保气体流量与压力波动控制在±1%以内，满足半导体行业对压力稳定性的要求。
洁净保障：超纯水清洗，百级无尘室生产组装，有效避免颗粒污染，保障晶圆制造与封装环节的良率提升。
高效集成：IGS模块化设计的气体终端与气体减压面板，可快速适配不同工艺设备，降低客户产线改造与维护成本
应用场景：半导体制造中，气体控制系统的稳定性直接影响刻蚀、薄膜沉积等核心工艺的精度。VIGOUR的解决方案已成功应用于多个关键环节。
气体监控：智能监控系统实时监控气体泄漏，确保用气安全。
▌深化研发，加速全球化进程
未来将加大在“智能化流体控制”领域的投入，进一步赋能半导体工厂的数字化升级。凭借技术优势与本土化服务能力，VIGOUR已与多家行业领先的半导体制造企业达成合作。公司计划设立区域技术中心，为客户提供快速响应服务，巩固其“技术+服务”双轮驱动的竞争优势。
