VDV32UB 系列

产品特点
* 适用于半导体领域

* 具有优越的密封性,卓越的耐用性和紧凑性

* 阀门开启和关闭指示清晰

* 优异的气体置换特性

* 表面使用EP标准处理

* 阀座材质:PEEK(标准),Ployimede / PFA (可选)


技术参数

最大工作压力:150 psig(10bar)

气动工作压力:58~87 psig (4-6 bar)

最大工作温度:-10oF to 150oF (-23oC to 65oC)

材质
母体:详见订购参数
膜片:Elgiloy®

阀座:PEEK

泄漏率:1x10-9 atm . cc/sec(外部)

              1x10-9 atm . cc/sec(内部)
孔径:Ø4.4mm

重量:约0.27kg

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