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VDV32UB 气动型 - 隔膜阀
隔膜阀
隔膜阀
Product Features产品特点
  • 适用于半导体制造设备和设施中超高纯、易燃或有毒的气体管路
  • 直通膜片结构,具有优越的密封性能,卓越的耐用性和紧凑性
  • 可视化手轮,有效判断开关状态
  • 优异的排气特性
  • EP标准表面处理
  • 标准阀座材料为 PCTFE,Vespel® / PFA 可选
Parameter技术参数
  • 最大工作压力
    150 psig (10 bar)
  • 气动工作压力
    58~87psig (4-6bar)
  • 最大工作温度
    14oF ~ 176oF (-10oC ~ 80oC)
  • 表面光洁度
    10μin. Ra
  • 内部泄漏率
    <1x10-9 mbar I/s He
  • 外部泄漏率
    <1x10-9 mbar I/s He
  • 流量参数
    1/4”Cv=0.3 3/8”1/2”Cv=0.65
Material Quality材质
  • 母体
    316L / 316L 二次熔炼
  • 膜片
    Elgiloy®
  • 密封垫
    PCTFE