过滤器

UHP

UHP

当前位置

VUF - 过滤器

过滤器

过滤器

Product Features产品特点

直线式气体过滤器，专为超高纯度气体过滤应用而设计
颗粒去除效率高
具有优秀的化学兼容性
耐高温、高压工作环境
结构紧凑，易于安装
100% 氦漏测试

Parameter技术参数

进气连接
1/4" 1/2" VFS螺纹接头
最大流量
0~60slpm / 0~120slpm / 0~500slpm / 0~1000slpm 可选

Material Quality材质

过滤材质
PTFE

资料下载download