原子层沉积阀

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VALD - 原子层沉积阀

原子层沉积阀

原子层沉积阀

Product Features产品特点

高速驱动，超长循环寿命
常开常闭气动驱动
电子或光学致动器位置感应选项
适用于超高纯度应用
模块化表面安装，管对接焊接，和VFS端连接
开闭时间小于5ms
全扫流通道设施
热隔离耦合可选

Parameter技术参数

最大工作压力
150 psig (10bar)
公称直径
Ф4.1
工作温度
-9oF ~ 399oF (-23oC ~ 200oC)，母体最高温度 200oC
流量参数
Cv=0.27

Material Quality材质

母体
316L / 316L 二次熔炼
膜片
Elgiloy®
阀座
High purtty PFA

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