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VRU - 压力表
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产品特点
超高压“清洁”半导体气体应用,符合SEMI/SEMATECH标准
氮气净化
螺纹连接上配备保护帽
100%工厂校准和氦泄漏测试
最大速率为1x10-9 mbar I/s He
Parameter
技术参数
刻度
psig / bar 双刻度
表盘尺寸
2”
精度
Grade A per ASME B40.1
环境温度
–40°F to 140°F (–40°C to 60°C)
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