气体终端控制面板

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VUP - 气体终端控制面板

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Product Features产品特点

超高纯度气体终端控制面板适用于所有气体输送系统
100TG：≤30 slpm 连接1/4"VFS
200TG：≤300 slpm 连接3/8"VFS
300TG：≤600 slpm 连接1/2"VFS
控制精度高
VFS面密封连接
手动或气动隔膜阀选择
100%氦泄漏测试

Parameter技术参数

进气压力 P1
300 psig
出气压力 P2
30/60/100/150 psig
外部泄漏率
1x10-9 mbar I/s He
内部泄漏率
1x10-8 mbar I/s He

Material Quality材质

母体（隔膜阀）
316L
阀座（隔膜阀）
PCTFE
膜片（隔膜阀）
Elgiloy®
母体（减压器）
316L / 316L 二次熔炼
阀座（减压器）
PCTFE
膜片（减压器）
Hastelloy® C276

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