隔膜阀

UHP

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VDV37UB 气动型 - 隔膜阀

隔膜阀

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Product Features产品特点

适用于半导体制造设备和设施中超高纯、易燃或有毒的气体管路
直通膜片结构，具有优越的密封性能，卓越的耐用性和紧凑性
可视化手轮，有效判断开关状态
优异的排气特性
EP标准表面处理
标准阀座材料为 PCTFE，Vespel® 可选

Parameter技术参数

最大工作压力
250 psig (17bar)
气动工作压力
80~100 psig (5.5~6.8bar)
最大工作温度
-40oF ~ 159oF (-40oC ~ 71oC)
表面光洁度
10μin. Ra
内部泄漏率
<1x10-9 mbar I/s He
外部泄漏率
<1x10-9 mbar I/s He
流量参数
Cv=2.8

Material Quality材质

母体
316L / 316L 二次熔炼
膜片
Elgiloy®
密封垫
PCTFE

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