隔膜阀

UHP

UHP

当前位置

VDV38UB 气动型 - 隔膜阀

隔膜阀

隔膜阀

Product Features产品特点

适用于半导体制造设备和设施中超高纯、易燃或有毒的气体管路
直通膜片结构，具有优越的密封性能，卓越的耐用性和紧凑性
可视化手轮，有效判断开关状态
优异的排气特性
EP标准表面处理
标准阀座材料为 PCTFE，Vespel® 可选

Parameter技术参数

最大工作压力
3000 psig (206 bar) / 1300 psig (90 bar)
气动工作压力
70~110 psig (5-8bar)
最大工作温度
-40oF ~ 150oF (-40oC ~ 65oC)
表面光洁度
10μin. Ra
内部泄漏率
<1x10-9 mbar I/s He
外部泄漏率
<1x10-9 mbar I/s He
流量参数
手动 Cv=1.0 气动 Cv=1.0 (90bar) / Cv=0.7 (206 bar)

Material Quality材质

母体
316L / 316L 二次熔炼
膜片
Elgiloy®
密封垫
PCTFE

资料下载download