减压器

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VSR-50UB - 减压器

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Product Features产品特点

单级式减压器
表面光洁度 10μin. Ra (25μin. Ra 可选)
内部体积小，吹扫时间短
使用材质符合 ASTM A479 / A484 / A276 标准
压力表与本体直接连接
流量: 15 slpm (标准), 30 slpm (可选)
100%氦气泄漏检测

Parameter技术参数

进气压力 P1
真空压力至 150 psig
出气压力 P2
10/30/60/100 psig
表面光洁度
10μin. Ra (25μin. Ra 可选)
进/出气连接
1/4” VFS接头或焊接接管
温度适用
-40oF to +160oF (-40oC to +71oC)
外部泄漏率
<1x10-9 mbar I/s He
内部泄漏率
<1x10-8 mbar I/s He
流量参数
Cv=0.06 (Cv=0.1 可选)
供压效应
Cv=0.06 进气压力每下降20 psig 出气压力上升0.2 psig； Cv=0.1 进气压力每下降20 psig 出气压力上升0.4 psig

Material Quality材质

母体
详见订购参数
阀座
PCTFE (Vespel® 可选)
膜片
Hastelloy® C276

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