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发布日期：2025-03-28 00:00 浏览量：267
2025年3月28日，全球半导体行业盛会SEMICON China 2025于3月28日在上海新国际博览中心圆满落幕。VIGOUR皓固作为国内领先的智慧流体控制系统方案服务商，携多款创新产品及解决方案亮相展会，吸引了来自全球的客户、行业专家及合作伙伴的广泛关注，现场洽谈热烈，合作意向显著提升。
▌专业实力获高度认可
本次展会以“跨界全球·心芯相联”为主题，聚焦半导体全产业链的技术革新与市场趋势。VIGOUR皓固展台（N1馆1583号）人气爆棚，超高纯气体控制系统、集成化解决方案及最新研发成果成为焦点。展会首日即迎来人流高峰，技术团队全天候为参观者详细讲解产品性能，并与多家半导体制造企业、设备供应商及研究机构展开深度交流，现场达成多项合作意向。
▌技术领先 赋能半导体制造
IGS集成气体系统
核心优势：体积仅为传统气体面板的1/3，模块化设计大幅提升设备空间利用率；高洁净技术确保气体传输零污染；支持快速更换与定制化配置，适配不同制程需求。
应用场景：覆盖沉积、刻蚀、光刻等关键半导体工艺环节，助力客户提升生产效率和能源利用率。
ALD原子沉积阀
技术突破：专为原子层沉积（ALD）工艺设计，采用全金属密封与超精密流量控制技术。
产品特点：可耐受高频次开关超长寿命循环，适配超高，适用于超高纯度应用，产品制造符合 VS001A 工艺规范， 模块化表面安装，管对接焊接，和VFS端连接，开闭时间小于5ms，全扫流通道设施，热隔离耦合可选，助力提升工艺制程的良率。
波纹管阀
技术突破：采用全封闭波纹管密封技术，彻底消除阀杆泄漏风险，适用于超高纯、高腐蚀性介质环境。
产品特点：316L不锈钢结构、VFS接头和焊接接管、易于清洁、出色的气密特性、所有材质经过EP处理、产品制造符合 VS001A 工艺规范、标准阀座材料为PCTFE，Vespel®、全金属密封。
▌深耕行业 全球布局
VIGOUR皓固成立于2014年，总部位于上海松江G60科创走廊核心区，拥有20年自主研发经验，致力于为半导体领域提供高精度流体控制解决方案。公司以“精工智造，服务全球”为理念，集产销研一体化发展，已在全球拥有4大办事处（中国、德国、美国、新加坡），产品覆盖全球市场。
▌携手共创“芯”未来
展会期间，VIGOUR国际知名企业就半导体材料的工艺设备需求展开技术探讨，并计划在原子层沉积（ALD）、离子注入等前沿领域深化合作。半导体产业正迎来技术迭代与国产化机遇，VIGOUR将持续加大研发投入，以更高效、更智能的产品助力行业突破瓶颈。
