特气架

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VGR - 特气架

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Product Features产品特点

可实现电子级大宗气体的持续不间断安全供应
可选排空功能、吹扫功能，安全泄压
Class 100 洁净室焊接组装
可选PLC控制，带通讯接口，可接入物联网智能监控平台系统
高低压报警，声光报警，可实现紧急切断
触摸屏可显示钢瓶压力等数据
符合SEMI S2标准
符合国际建筑消防规范

Parameter技术参数

最大工作压力
110%保压测试
氦气检测泄漏率
1x10-9 mbar l/s He
适用气体
惰性气体（CF4、SF6、CHF3、Ar、He等）
气源供应方式
气瓶
电源
110-240V AC
规格
单瓶组、双瓶组

Material Quality材质

管阀件
SS 316L

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