特气柜

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VGC - 特气柜

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Product Features产品特点

可实现电子级特殊气体的持续不间断安全供应
可选排空功能、吹扫功能，安全泄压
Class 100 洁净室焊接组装
可选PLC控制，带通讯接口，可接入物联网智能监控平台系统
高低压报警，声光报警，可实现紧急切断
10“显示屏，可显示钢瓶压力等数据
符合SEMI S2标准
符合国际建筑消防规范

Parameter技术参数

最大工作压力
110%保压测试
氦气检测泄漏率
1x10-9 mbar l/s He
适用气体
易燃/自燃性气体、腐蚀性气体、毒性气体（SiH4、HCL等）
气源供应方式
气瓶
电源
110-240V AC
规格
单瓶组、双瓶组
外壳
耐腐蚀气焊接钢外壳
玻璃窗
可开关，1/4”钢丝增强玻璃窗
门
自动关闭
排气管
顶部安装排气管

Material Quality材质

管阀件
SS 316L

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