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UHP
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VGU - 压力表
压力表
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Product Features产品特点
  • 超高压“清洁”半导体气体应用,符合SEMI/SEMATECH标准
  • 氮气净化
  • 螺纹连接上配备保护帽
  • 100%工厂校准和氦泄漏测试
  • 最大速率为1x10-9 mbar I/s He
Parameter技术参数
  • 刻度
    psig / bar 双刻度
  • 表盘尺寸
    2”
  • 精度
    Grade A per ASME B40.1
  • 环境温度
    –40°F to 140°F (–40°C to 60°C)
Material Quality材质
  • 端口连接
    316L VAR,电解抛光
  • 弹簧管
    316L SS
  • 容器
    304 SS
  • 视窗
    树脂
  • 指针